详细介绍
简介：
这款CVD系统是由3路供气系统+1200度单温区管式炉+真空系统组成
技术参数：
| 设备型号 | MFLCVD406-12 | |
| 性能 | 控温范围 | 室温-1200℃ |
| 工作温度 | ≤1100℃ | |
| 控温精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
| 恒温波动 | ±1℃（测试点为1000℃） | |
| 升温速度 | 推荐1000度以下≤10℃/min，最快升温速度≤30℃/min | |
| 降温速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
| 炉表温度 | 炉体表面温度小于室温+10（测量点为1000℃） | |
| 构成 | 外装 | 冷轧钢板，表面耐药性涂装 |
| 炉体 | 陶瓷纤维 | |
| 传感器 | 1200度K型热电偶 | |
| 加热元件 | HDR优质电阻合金丝 | |
| 冷却风叶 | 轴流风扇 | |
| 炉体结构 | 双层壳体结构，配有风冷系统 | |
| 控制器 | 控制方式 | PID控制 |
| 设定表示 | 数字设定/数字显示 | |
| 超温保护 | 控制器一体型 | |
| 超温设定 | 数字设定 | |
| 运行功能 | 定制运行/程序运行（30段程序控温） | |
| 附加功能 | 偏差修正、停电补偿、锁键功能 | |
| 定时器 | 1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止 | |
| 真空系统 | 真空度 | 1.选配机械泵可达真空 10的-2次pa 2.选配我司高真空系统（机械泵+分子泵组合），可达1.33*10的-4次方pa（空炉状态） |
| 隔热管堵 | 2只，氧化铝材料 | |
| 炉管 | 石英管 | |
| 真空法栏 | 不锈钢真空法兰 | |
| 压力表 | -0.1至0.15mpa | |
| 供气系统 | 质子流质计 | 量程和气体：5-500SCCM、1-10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） 流量控制精度 ±1.0%F.S |
| 路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） | |
| 接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |
| 压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |
| 安全 | 工作环境 | RT±5-40℃ |
| 使用保障 | 开门断电 超温报警 漏电保护 过温保护 | |
| 规格 | 炉体结构 | 卧式 |
| 炉管尺寸 | Φ60mm | |
| 电源电压 | 220V50HZ | |
| 输入功率 | 4KW | |
| 出厂清单 | 管式炉 | 一台 |
| 供气系统 | 一套 | |
| 高温手套 | 卡斯顿一双 | |
| 炉勾 | 一把 | |
| 气管 | 一根 | |
| 设备说明书 | 一份 | |
| 仪表说明书 | 一份 | |
| 保修卡 | 一份 | |
| 选购品 | 移动炉架 | 不锈钢 |
| 触摸屏仪表485转换接口 | 50段编程，可实现与计算机连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。 |
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